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人文浸潤式光刻之父林本堅詳解IC縮小術!(超詳細!建議收藏)
(Source:111 年中央研究院知識饗宴)由於光在不同介質波長會改變,因此考慮如何增加解析度時,可將鏡頭與成像面(晶圓)的介質(折射率n)一併納入考慮,將λ 改以λ0/n 表示,λ0 是真空波長...
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