氦檢及氦回收

一 真空箱氦檢（4箱聯動）組成：

真空系統﹑氦檢系統﹑產品管路﹑電氣控制系統﹑氣動元器件﹑工裝夾具等

1、 真空系統

l 腔體粗抽空泵

l 腔體精抽空泵

l 產品抽空泵

l 高精度真空計

l 高品質真空閥

功能：抽空系統的功能是對真空箱及產品進行抽空排氣，為氦檢漏提供真空環境。

2、 氦檢系統

l 高靈敏度氦質譜儀

功能：使用氦氣作為檢漏示蹤氣體，對被檢測產品進行洩漏檢測。

3、 產品管路

l 閥門：電磁閥

l 壓力感測器

l 高壓管路

l 安全閥

功能：透過產品管路對產品進行抽空、充氮、充氦及氦氣回收。

4、 電氣控制系統

l PLC

l 觸控式螢幕

l 強弱電電氣元件

l 安全門

l 按鈕及指示燈

功能：採用PLC和觸控式螢幕控制。系統將按照PLC 系統預設程式完成各種動作，裝置的操作和裝置執行狀態資訊將在觸控式螢幕上完成和顯示。

本裝置工作模式可分為自動模式、手動模式兩種工作模式。 在一般情況下系統工作在自動模式下執行，裝置在維護檢修時可切換成手動模式。

裝置狀態監控及生產過程控制，執行過程中系統對本裝置狀態如真空壓力、產品壓力、氦質譜儀狀態、閥門及氣缸位置狀態進行監控及顯示

系統設定功能，本機執行的所有相關引數均面向客戶，可根據系統執行情況進行線上修改設定，對系統引數進行分級處理，提供不同的等級許可權密碼。

故障報警及診斷，對於裝置執行中的各種故障和警告資訊都將線上實時給出報警提示，報警採取聲光提示，同時在螢幕上顯示具體報警資訊。

安全保護，系統提供安全門、安全繼電器、急停按鈕對操作人員及裝置進行保護。

5、 氣動控制系統

控制閥門氣缸動作的輔助氣動元件

6 工裝夾具

專業製作各種高可靠性工裝，有近20年的工裝設計製作經驗！對產品起到密封作用，保證充入壓力的氦氣管路連線處無洩漏，確保生產節拍，滿足客戶需求！

二、氣路圖

三 裝置原理

真空泵泵組對真空箱進行抽真空，達到一定真空度，開啟質譜儀，然後產品內充入一定壓力的氦氣，如果有洩漏，會直接被質譜儀檢測出來，測試結束後殘餘氦氣被回收迴圈使用

四 工藝流程

氦檢流程：

l

真空箱關閉，自動壓緊密封工件；

l

裝置自動對真空箱抽空，並向工件內充入高壓氣體，對工件進行耐壓檢測（

2。1

耐壓檢測不合格，裝置自動對工件和真空箱充氣開門，機械手將不合格工件取出）；

l

對工件抽真空，（檢本底、本底抑零顯示）；

l

對工件內充氦，並真空檢微漏；

l

真空箱體放氣，並對工件內氦氣回收；

l

自動開箱門，取出工件，放入合格輥道內。

一 氦氣回收系統組成：

本系統是由高壓罐

低壓罐﹑平衡罐﹑回收泵﹑壓縮機﹑氣動先導閥﹑濃度檢測儀﹑壓力檢測元件﹑安全閥﹑過濾裝置組成

二 氦氣回收系統原理

1 首先透過壓力平衡將產品測試氦氣回收到平衡罐，達到一定壓力

2 產品殘餘氦氣透過真空泵抽到低壓罐，提高氦氣回收效率

3 低壓罐壓力達到一定壓力後，透過壓縮機將平衡罐及低壓罐的氦氣打到高壓罐當中迴圈使用

三 本系統特點：

1 後期可升級新增壓縮機和儲氣罐，集中氦回收供氣；

2 選取合適的平衡罐及高壓罐，可避免壓縮機頻繁啟停，極大延長壓縮機使用壽命，比其他品牌回收系統節能至少30%以上

3 定時自動檢測氦氣濃度，濃度低於一定範圍可實現自動補氣提升氦氣濃度

4 98%以上回收效率，適用壓力範圍廣1——350bar