製造晶片的氣體，重要性比肩光刻機，中國掐住原材料的命脈

中國的命脈在哪裡

眾所周知，光刻機進口受限使得中國晶片發展受到影響。以至於不少國人在提到國產晶片時，經常與“卡脖子”聯絡到一起。

實際上，雖然中國晶片發展與確實還有很長一段路要走，但我國在晶片行業也並非一無是處。比如，

製造晶片的關鍵氣體——氟化氫，中國就掐住了原材料的命脈

。而氟化氫在晶片製造過程中的重要性，足以比肩光刻機。

氟化氫的原材料為螢石，在中國的分佈相當廣泛。據美國地質局的相關資料顯示：

2020年全球螢石儲量為3.2億噸。其中，中國螢石產量為430萬噸，穩居世界第一。

作為氟化氫水溶液的氫氟酸，由於具有極強的腐蝕性，所以在電子行業十分受歡迎，一般業內經常將其作為

刻蝕劑及清洗劑使用。

其中，高純度的電子級氟化氫，在半導體制造中則主要被用來去除過剩的化學物質，或者進行離子刻蝕、刻蝕細槽等相關操作。

尤其是在晶片製作的過程中，氫氟酸更是經常被用來進行晶圓表面的清洗以及半導體稱體的切割工作。資料顯示：

在半導體產品製造的

600多道程式中，會用到十數次氟化氫

，足以見得其重要性。

不過，雖然中國的螢石產量很高，但此前由於中國半導體技術不發達，我國大部分的螢石資源都被嚴重浪費，所以在過去數十年間，日本幾乎壟斷了氟化氫市場。

直到2010年，逐漸意識到被日本壟斷的中國才開始採取措施限制螢石的開採。比如，在

選礦、開採工藝以及尾礦及廢水處理方面，進行嚴格管控

。2016年，螢石被列為我國重要戰略性礦產。

好在，隨著對於氟化氫這一重要氣體的重視，中國逐漸拿下了主導權。

目前，

中國國內電子級氟化氫生產廠家有

10家左右，產能約為9萬噸。

所以從技術方面來說，雖然如今日本在整體氟化氫產業鏈上依然存有經驗優勢，但我國氟化氫廠商也已經具有了生產高純度氟化氫的能力。

而隨著日本限制向韓國出口氟化氫，加之中國企業在這一半導體氣體方面的不斷髮力，韓國正在中國尋找替代供應商以減少對日本材料的一來。

此前，據《上海證券報》中國證券網報道：，目前

濱化集團的電子級氟化氫已經成功拿到了國半導體廠商的部分訂單。

對於中國電子級氟化氫來說，如果能成功抓住這次機會，或許將成為韓國供應商體系中的重要一環。

文/Dong 稽核/子揚 校對/知秋