常用壓力感測器工作原理計使用方法

什麼是電渦流效應

隨著自動化技術的進步，在工業裝置中，除了液柱式壓力計、彈性式壓力錶外，目前更多的是採用可將壓力轉換成電訊號的壓力變送器和感測器。那麼這些壓力變送器和感測器是如何將壓力訊號轉換為電訊號的呢？不同的轉換方式又有什麼特點呢？今天儀控君為大家彙總了目前常見的幾種壓力感測器的測量原理，希望能對大家有所幫助。

一

壓電壓力感測器

壓電式壓力感測器主要基於壓電效應（Piezoelectric effect），利用電氣元件和其他機械把待測的壓力轉換成為電量，再進行相關測量工作的測量精密儀器，比如很多壓力變送器和壓力感測器。壓電感測器不可以應用在靜態的測量當中，原因是受到外力作用後的電荷，當迴路有無限大的輸入抗阻的時候，才可以得以儲存下來。但是實際上並不是這樣的。因此壓電感測器只可以應用在動態的測量當中。它主要的壓電材料是：磷酸二氫胺、酒石酸鉀鈉和石英。壓電效應就是在石英上發現的。

當應力發生變化的時候，電場的變化很小很小，其他的一些壓電晶體就會替代石英。酒石酸鉀鈉，它是具有很大的壓電係數和壓電靈敏度的，但是，它只可以使用在室內的溼度和溫度都比較低的地方。磷酸二氫胺是一種人造晶體，它可以在很高的溼度和很高的溫度的環境中使用，所以，它的應用是非常廣泛的。隨著技術的發展，壓電效應也已經在多晶體上得到應用了。例如：壓電陶瓷，鈮鎂酸壓電陶瓷、鈮酸鹽系壓電陶瓷和鈦酸鋇壓電陶瓷等等都包括在內。

以壓電效應為工作原理的感測器，是機電轉換式和自發電式感測器。它的敏感元件是用壓電的材料製作而成的，而當壓電材料受到外力作用的時候，它的表面會形成電荷，電荷會透過電荷放大器、測量電路的放大以及變換阻抗以後，就會被轉換成為與所受到的外力成正比關係的電量輸出。它是用來測量力以及可以轉換成為力的非電物理量，例如：

加速度和壓力。它有很多優點：重量較輕、工作可靠、結構很簡單、信噪比很高、靈敏度很高以及信頻寬等等。但是它也存在著某些缺點：有部分電壓材料忌潮溼，因此需要採取一系列的防潮措施，而輸出電流的響應又比較差，那就要使用電荷放大器或者高輸入阻抗電路來彌補這個缺點，讓儀器更好地工作。

二

壓阻壓力感測器

壓阻壓力感測器主要基於壓阻效應（Piezoresistive effect）。壓阻效應是用來描述材料在受到機械式應力下所產生的電阻變化。不同於上述壓電效應，壓阻效應只產生阻抗變化，並不會產生電荷。

大多數金屬材料與半導體材料都被發現具有壓阻效應。其中半導體材料中的壓阻效應遠大於金屬。由於矽是現今積體電路的主要，以矽製作而成的壓阻性元件的應用就變得非常有意義。的電阻變化不單是來自與應力有關的幾何形變，而且也來自材料本身與應力相關的電阻，這使得其程度因子大於金屬數百倍之多。N型矽的電阻變化主要是由於其三個導帶谷對的位移所造成不同遷移率的導帶谷間的載子重新分佈，進而使得電子在不同流動方向上的遷移率發生改變。其次是由於來自與導帶谷形狀的改變相關的等效質量（effective mass）的變化。在P型矽中，此現象變得更復雜，而且也導致等效質量改變及電洞轉換。

壓阻壓力感測器一般透過引線接入惠斯登電橋中。平時敏感芯體沒有外加壓力作用，電橋處於平衡狀態（稱為零位），當感測器受壓後晶片電阻發生變化，電橋將失去平衡。若給電橋加一個恆定電流或電壓電源，電橋將輸出與壓力對應的電壓訊號，這樣感測器的電阻變化透過電橋轉換成壓力訊號輸出。電橋檢測出電阻值的變化，經過放大後，再經過電壓電流的轉換，變換成相應的電流訊號，該電流訊號透過非線性校正環路的補償，即產生了輸入電壓成線性對應關係的4～20mA的標準輸出訊號。

為減小溫度變化對芯體電阻值的影響，提高測量精度，壓力感測器都採用溫度補償措施使其零點漂移、靈敏度、線性度、穩定性等技術指標保持較高水平。

三

電容式壓力感測器

電容式壓力感測器是一種利用電容作為敏感元件，將被測壓力轉換成電容值改變的壓力感測器。這種壓力感測器一般採用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極，當薄膜感受壓力而變形時，薄膜與固定電極之間形成的電容量發生變化，透過測量電路即可輸出與電壓成一定關係的電訊號。電容式壓力感測器屬於極距變化型電容式感測器，可分為單電容式壓力感測器和差動電容式壓力感測器。

單電容式壓力感測器由圓形薄膜與固定電極構成。薄膜在壓力的作用下變形，從而改變電容器的容量，其靈敏度大致與薄膜的面積和壓力成正比而與薄膜的張力和薄膜到固定電極的距離成反比。另一種型式的固定電極取凹形球面狀，膜片為周邊固定的張緊平面，膜片可用塑膠鍍金屬層的方法制成。這種型式適於測量低壓，並有較高過載能力。還可以採用帶活塞動極膜片製成測量高壓的單電容式壓力感測器。這種型式可減小膜片的直接受壓面積，以便採用較薄的膜片提高靈敏度。它還與各種補償和保護部以及放大電路整體封裝在一起，以便提高抗干擾能力。這種感測器適於測量動態高壓和對飛行器進行遙測。單電容式壓力感測器還有傳聲器式（即話筒式）和聽診器式等型式。

差動電容式壓力感測器的受壓膜片電極位於兩個固定電極之間，構成兩個電容器。在壓力的作用下一個電容器的容量增大而另一個則相應減小，測量結果由差動式電路輸出。它的固定電極是在凹曲的玻璃表面上鍍金屬層而製成。過載時膜片受到凹面的保護而不致破裂。差動電容式壓力感測器比單電容式的靈敏度高、線性度好，但加工較困難（特別是難以保證對稱性），而且不能實現對被測氣體或液體的隔離，因此不宜於工作在有腐蝕性或雜質的流體中。

四

電磁壓力感測器

多種利用電磁原理的感測器統稱，主要包括電感壓力感測器、霍爾壓力感測器、電渦流壓力感測器等。

電感壓力感測器

電感式壓力感測器的工作原理是由於磁性材料和磁導率不同，當壓力作用於膜片時，氣隙大小發生改變，氣隙的改變影響線圈電感的變化，處理電路可以把這個電感的變化轉化成相應的訊號輸出，從而達到測量壓力的目的。該種壓力感測器按磁路變化可以分為兩種：變磁阻和變磁導。電感式壓力感測器的優點在於靈敏度高、測量範圍大；缺點就是不能應用於高頻動態環境。

變磁阻式壓力感測器主要部件是鐵芯跟膜片。它們跟之間的氣隙形成了一個磁路。當有壓力作用時，氣隙大小改變，即磁阻發生了變化。如果在鐵芯線圈上加一定的電壓，電流會隨著氣隙的變化而變化，從而測出壓力。

在磁通密度高的場合，鐵磁材料的導磁率不穩定，這種情況下可以採用變磁導式壓力感測器測量。變磁導式壓力感測器用一個可移動的磁性元件代替鐵芯，壓力的變化導致磁性元件的移動，從而磁導率發生改變，由此得出壓力值。

霍爾壓力感測器

霍爾壓力感測器是基於某些半導體材料的霍爾效應制成的。霍爾效應是指當固體導體放置在一個磁場內，且有電流透過時，導體內的電荷載子受到洛倫茲力而偏向一邊，繼而產生電壓（霍爾電壓）的現象。電壓所引致的電場力會平衡洛倫茲力。透過霍爾電壓的極性，可證實導體內部的電流是由帶有負電荷的粒子（自由電子）之運動所造成。

在導體上外加與電流方向垂直的磁場，會使得導線中的電子受到洛倫茲力而聚集，從而在電子聚集的方向上產生一個電場，此電場將會使後來的電子受到電力作用而平衡掉磁場造成的洛倫茲力，使得後來的電子能順利透過不會偏移，此稱為霍爾效應。而產生的內建電壓稱為霍爾電壓。

當磁場為一交變磁場時，霍爾電動勢也為同頻率的交變電動勢，建立霍爾電動勢的時間極短，故其響應頻率高。理想霍爾元件的材料要求要有較高的電阻率及載流子遷移率，以便獲得較大的霍爾電動勢。常用霍爾元件的材料大都是半導體，包括N型矽（Si）、銻化銦（InSb）、砷化銦InAs）、鍺（Ge）、砷化鎵GaAs）及多層半導體質結構材料，N型矽的霍爾係數、溫度穩定性和線性度均較好，砷化鎵溫漂小，目前應用。

電渦流壓力感測器

基於電渦流效應的壓力感測器。電渦流效應是由一個移動的磁場與金屬導體相交，或是由移動的金屬導體與磁場垂直交會所產生。簡而言之，就是電磁感應效應所造成。這個動作產生了一個在導體內迴圈的電流。

電渦流特性使電渦流檢測具有零頻率響應等特性，因此電渦流壓力感測器可用於靜態力的檢測。

五

振弦式壓力感測器

振弦式壓力感測器屬於頻率敏感型感測器，這種頻率測量具有想當高的準確度，因為時間和頻率是能準確測量的物理量引數，而且頻率訊號在傳輸過程中可以忽略電纜的電阻、電感、電容等因素的影響。同時，振弦式壓力感測器還具有較強的抗干擾能力，零點漂移小、溫度特性好、結構簡單、解析度高、效能穩定，便於資料傳輸、處理和儲存，容易實現儀表數字化，所以振弦式壓力感測器也可以作為感測技術發展的方向之一。

振弦式壓力感測器的敏感元件是拉緊的鋼弦，敏感元件的固有頻率與拉緊力的大小有關。弦的長度是固定的，弦的振動頻率變化量可用來測算拉力的大小，即輸入是力訊號，輸出的是頻率訊號。振弦式壓力感測器分為上下兩個部分組成，下部構件主要是敏感元件組合體。上部構件是鋁殼，包含一個電子模組和一個接線端子，分成兩個小室放置，這樣在接線時就不會影響電子模組室的密封性。

振弦式壓力感測器可以選擇電流輸出型和頻率輸出型。振弦式壓力感測器在運作式，振弦以其諧振頻率不停振動，當測量的壓力發生變化時，頻率會產生變化，這種頻率訊號經過轉換器可以轉換為4~20mA的電流訊號。